西门子法主要包括三氯氢硅合成工艺,三氯氢硅精馏工艺,化学气相沉淀(还原)工艺和尾气回收再利用工艺。首先将冶金级工业硅粉(99%以上)、液氯为原料,采用电解水制氢气,氢气和氯气反应生成氯化氢,氯化氢与硅粉反应制得三氯氢硅,三氯氢硅再与氢气还原反应制得高纯度多晶硅。
西门子法主要包括三氯氢硅合成工艺,三氯氢硅精馏工艺,化学气相沉淀(还原)工艺和尾气回收再利用工艺。首先将冶金级工业硅粉(99%以上)、液氯为原料,采用电解水制氢气,氢气和氯气反应生成氯化氢,氯化氢与硅粉反应制得三氯氢硅,三氯氢硅再与氢气还原反应制得高纯度多晶硅。
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2022年11月18日
2022年11月11日