为了释放硅异质结太阳能电池的全部性能，需要减少寄生损耗。在这里，苏州大学zhang xiaohong、yang xinbo、苏州迈为科技股份有限公司zhou jian和新南威尔士大学alison lennon等人开发了一种工业规模的高频等离子体增强化学气相沉积系统。
该系统具有最小化的驻波效应，能够沉积具有优异电子选择性、低寄生吸收和高均匀性的掺杂nc-siox:h。接下来，作者展示了无籽镀铜，从而产生具有高纵横比和低金属分数的网格。
对于具有丝网印刷银电极和镀铜电极的m6尺寸双面硅异质结器件，作者分别获得了25.98%和26.41%的认证效率。这些结果强调了硅异质结技术的性能潜力，并降低了大规模制造的门槛。
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