发表于：2023-08-03 15:24:25
来源：光伏行研
技术总结：
/晶硅代表性结构和制备方法：
钙钛矿技术路线呈现多样性，湿法、干法 湿法、干法三种技术路线。
①一步溶液法：目前积极引入其他工艺等帮助效率提升，比如引入蒸镀设备做缓冲层。
②干法 湿法两步法：
第一步使用真空蒸镀形成干法制膜，
第二步使用溶液法再干法制膜基础上形成液态薄膜，两步法将来可以更好的兼容与晶硅叠层的技术路线
③干法工艺：成膜质量角度干法的厚度和均匀性较好，干法成膜速度相比湿法要慢一些，不影响最重要的产量节拍。
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